2,3,4 - 三羟基二苯甲酮 1,2 - 二叠氮基萘醌 - 5 - 磺酸酯(简称 DNQ 光敏剂,商品名光引发剂 3215),核心用途是正性光刻胶的光敏剂,广泛用于半导体、显示面板与印刷制版,少量用于高分子改性与医药中间体。
一、核心用途:正性光刻胶光敏剂(最主要)
属于重氮萘醌(DNQ)型正性光致抗蚀剂,适配g 线(436nm)/i 线(365nm) 曝光,是光刻胶的核心感光组分。
- 半导体芯片:用于硅片、晶圆的微米 / 亚微米级图形光刻(如逻辑 / 存储芯片、分立器件),分辨率高、抗蚀刻与耐热性好、去胶容易。
- 显示面板(FPD):TFT‑LCD、OLED 阵列基板的光刻工艺,适配 g 线正性胶。
- 印刷电路板(PCB):高精度线路板的光刻成像。
- 阳图 PS 版 / CTP 版:印刷制版用感光胶,曝光后溶解差异形成图文。
作用机理
- 曝光前:DNQ 抑制酚醛树脂溶解,胶层难溶于碱显影液。
- 曝光后:DNQ 光解生成茚羧酸,碱溶性大幅提升;未曝光区保留,显影后得到正性图案。
二、其他工业用途
- 高分子材料:光固化体系光引发剂、交联剂;用于涂料、油墨、胶粘剂的紫外固化,提升固化效率与耐候性。
- 医药中间体:用于靶向 药前体、药物缓释系统光敏组分,调控释放速率。
- 膜与涂层:光学膜、抗蚀膜、化学涂层的光敏添加剂。